في صناعة أشباه الموصلات، يتم عادةً ترسيب أغشية رقيقة من الألومنيوم على أسطح الرقائق باستخدام تقنية الرش المعدني (الرش). الرش هو عملية ترسيب فيزيائي للبخار (PVD)، والتي تضرب هدفًا معدنيًا باستخدام التأين وتسريع الغازات الخاملة مثل ** الأرجون (Ar)**، مما يتسبب في تناثر الذرات الموجودة على الهدف وترسبها على السطح من الرقاقة المراد معالجتها.
1. المبدأ الأساسي للالاخرق
جوهر عملية الرش هو استخدام أيونات الأرجون (Ar +) المتسارعة عند الجهد العالي، لتصل إلى سطح هدف الألومنيوم. عندما تصطدم أيونات الأرجون بهدف الألومنيوم، يتم تجريد ذرات الألومنيوم من سطح الهدف وتتناثر على سطح الرقاقة. يمكن التحكم في سمك وتوحيد وجودة طبقة الألومنيوم عن طريق ضبط المعلمات مثل معدل تدفق الغاز والجهد المستهدف ووقت الترسيب.
2. مميزات عملية الاخرق
دقة عالية: يمكن لتقنية الرش أن تتحكم بدقة في سمك ومعدل ترسيب أفلام الألومنيوم، وهي مناسبة لتصنيع أشباه الموصلات الدقيقة.
ترسيب بدرجة حرارة منخفضة: تتميز عملية الرش بدرجة حرارة ترسيب أقل مقارنة بترسيب البخار الكيميائي (CVD)، وبالتالي تتجنب تلف المادة بسبب ارتفاع درجة الحرارة، مما يجعلها مناسبة بشكل خاص للعمليات الحساسة لدرجة الحرارة.
جودة الفيلم الجيدة: من خلال تحسين ظروف الرش، يمكن أن يتمتع فيلم الألومنيوم بقدرة التصاق جيدة وتسطيح للمعالجة اللاحقة.